| Форма входа |
|
 |
| Меню сайта |
|
|
| Разное |
|
|
|
| Сейчас на сайте |
Онлайн всего: 5 Гостей: 5 Пользователей: 0 |
|
|
Кремний, полученный с использованием
|
| 19.09.2009, 07:21 |
Случайный текст с реферата
Кремний, полученный с использованием" геттерирования расплава. В бездефектной технологии изготовления ИС для уменьшения влияния термодефектов используются методы пассивного геттерирования примесей в пластинах К таким методам относятся "внешнее геттсрирование" нанесение внешних покрытий (поликремния, Si-,N^, переходных металлов) или механических повреждений на нерабочую сторону кремниевой пластины и "внутреннее геттерирование" — намеренное обеспечение путем термообработок выделений второй фазы Si0,, на которых адсорбируются микродефекты, примеси тяжелых и щелочных металлов Однако в результате таких воздействий на пластины ухудшаются механические свойства, что особенно заметно на подложках диаметром 100 и более миллиметров. Процесс образования геттерирующей зоны происходит в несколько стадий, при этом самая высокая температура термообработки (То) не превышает lOOO^C, в то время как многоступенчатая технология изготовления ИС включает более высокотемпературные операции, например диффузию...
|
| Категория: Физика | Добавил: bestmms
(56.5 Kb)
|
| Просмотров: 268 | Загрузок: 80
| Рейтинг: 0.0 |
Добавлять комментарии могут только зарегистрированные пользователи. [ Регистрация | Вход ] |
|
