Форма входа |
|
|
Меню сайта |
|
|
Разное |
|
|
Сейчас на сайте |
Онлайн всего: 10 Гостей: 10 Пользователей: 0 |
|
|
Химическое жидкосное травление
| 21.09.2009, 07:48 |
Случайный текст с реферата
Содержание. стр. 1 Введение.3 1.1 Термодинамика травления.5 1.2 Общие принципы кинетики травления.8 1.3 Феноменологический механизм травления.9 2 Жидкостное травление.11 2.1 Травление SiO2.11 2.2 Травление кремния.14 2.3 Травление многослойных структур.19 2.4 Травление алюминия.20 2.5 Травители для алюминия.21 2.6 Электрохимическое травление.23 3 Практические аспекты жидкостного химического23 травления. 3.1 Другие характеристики травления.24 4 Заключение.25 5 Список литературы.26 Введение. Травление используется для селективной (химической) прорисовки диффузионных масок, формирования изолирующих или проводящих областей, в процессе которого вещество в области, подвергаемой травлению, химически преобразуется в растворимое или летучее соединение В литографии травление применяется в основном для формирования диффузионных масок в слое термически окисленного кремния или для удаления материала через окна в диэлектрике при изготовлении металлических контактов Металлическая разводка формируе...
|
Категория: Химия | Добавил: bestmms
(167.7 Kb)
|
Просмотров: 357 | Загрузок: 81
| Рейтинг: 0.0 |
Добавлять комментарии могут только зарегистрированные пользователи. [ Регистрация | Вход ]
|
|