| Форма входа |
|
 |
| Меню сайта |
|
|
| Разное |
|
|
|
| Сейчас на сайте |
Онлайн всего: 9 Гостей: 9 Пользователей: 0 |
|
|
Субмикронная литография
|
| 18.09.2009, 15:06 |
Случайный текст с реферата
Содержание. стр. 1.Фотолитография.3 1.1Ведение.3 1.2Основы оптики 5 1.3Контактная печать и печать с зазором.8 1.4Проекционная печать.10 1.5Совмещение.12 1.6Фотошаблоны.13 1.7Перспективы развития фотолитографии.14 2.Электронно-лучевое экспонирование.15 2.1Введение.15 2.2Характеристики электронно-лучевых установок.17 2.3Поглощение излучения высоких энергий.20 2.4Производительность систем Эл экспонирования.20 2.5Радиационные резисты.22 2.6Оборудование для Эл экспонирования.23 2.7Совмещение.27 2.8Эффекты близости.28 2.9Радиационные повреждения приборов.30 2.10Перспективы.31 3.Рентгеновское и ионно-лучевое экспонирование.31 3.1Рентгеновское излучение.31 3.2Ионные пучки.33 4.Заключение.35 5.Список литературы.38 Фотолитография. Введение. Оптическая литография объединяет в себе такие области науки, как оптика, механика и фотохимия При любом типе печати ухудшается резкость края (рис 1) Проецирование двумерного рисунка схемы ведет к уменьшению крутизны края, поэтому нужен специальный...
|
| Категория: Промышленные технологии | Добавил: bestmms
(234.6 Kb)
|
| Просмотров: 306 | Загрузок: 98
| Рейтинг: 0.0 |
Добавлять комментарии могут только зарегистрированные пользователи. [ Регистрация | Вход ] |
|
